安徽万维克林申请基于温度变化和气体浓度差检测晶圆盒气密性专利，有效降低误判率

今日快讯 2025年08月06日 20:41 0 admin

金融界2025年8月6日消息，国家知识产权局信息显示，安徽万维克林精密装备有限公司申请一项名为“一种基于温度变化和气体浓度差的晶圆盒气密性检测方法”的专利，公开号CN120427187A，申请日期为2025年05月。

专利摘要显示，本发明涉及气密性检测技术领域，其公开了一种基于温度变化和气体浓度差的晶圆盒气密性检测方法，本方法通过晶圆盒气密性检测装置实现，晶圆盒气密性检测装置由腔体、腔门、晶圆盒支架组成的密闭腔室；在检测精准度上，通过监测传感器实时监测，利用独特的稳定判断和泄漏分析方法，对比相关参数阈值，能够精准判断气体置换状态和晶圆盒的泄漏情况，有效降低误判率；同时监测温度和氧浓度，避免单一参数造成的误判，检测流程高效，测试准备、气体置换等环节紧密衔接，气体置换时形成的流动可快速置换原有气体，气密性判断依据科学合理；只需控制电磁阀开关并进行传感器数据采集分析，降低了技术门槛，大幅提升检测效率。

天眼查资料显示，安徽万维克林精密装备有限公司，成立于2020年，位于合肥市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1456万人民币。通过天眼查大数据分析，安徽万维克林精密装备有限公司参与招投标项目7次，财产线索方面有商标信息8条，专利信息60条，此外企业还拥有行政许可4个。

本文源自金融界