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专利摘要显示,本发明公开了一种高K金属场板绝缘体上碳化硅功率器件,包括从下至上依次布设的碳化硅有源区和高K金属栅结构;高K金属栅结构包括金属栅极和至少部分包裹在金属栅极顶部的高K介质;位于高K金属栅结构两侧的碳化硅有源区顶部分别设置有源极和漏极;源极设置有位于高K介质顶部且处于金属栅极上方的指型场板;指型场板包括若干根手指;每根手指均沿金属栅极宽度方向布设,一端均与源极相连接,另一端均超出背离源极一侧的金属栅极长边一。
本文源自金融界
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