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2025-08-11 0
国林科技：臭氧气体发生器等设备可用于GAA和FinFET工艺
今日新闻
2025年08月11日 16:07 0
admin
金融界8月11日消息，有投资者在互动平台向国林科技提问：公司哪些半导体设备用于环绕式栅极gaa和finfet先进工艺？
公司回答表示：尊敬的投资者，您好。公司的臭氧气体发生器，臭氧水发生器以及氨水发生器等设备均可以用于该工艺，特别是先进前道工艺的前端与后端处理中。感谢您的关注。
本文源自金融界
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