光刻机产业链龙头名单汇总

今日快讯 2025年08月18日 16:02 5 aa

据杭州日报，近日，作为基地首批签约孵化项目之一，全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。“羲之”电子束光刻机的成功应用测试，是我国高端半导体核心装备国产化的重大突破。这把自主可控的“中国刻刀”，将为加速国产高端芯片的研发进程、抢占未来科技制高点提供坚实的装备基础。

海立股份	光刻机冷却系统配套(与上海微电子为同一实控人)，已实现供货。
阿石创	实现EUV光刻机镜头所需的超高纯钼靶和硅靶技术，解决反射镜镀膜的“卡脖子问题。
蓝英装备	为ASML提供EUV清洗设备的企业，同时供货中微公司、北方华创。
富创精密	量产7nm设备零部件，光刻机真空腔体达ASML标准（粗糙度Ra0.05μm），进入台积电供应链。
苏大维格	光刻机定位光栅核心供应商，打破ASML对高精度光栅的垄断。
福晶科技	全球非线性光学晶体技术领先，用于光刻机激光光源的倍频与调制，EUV级晶体已进入中科院验证阶段。
茂莱光学	提供DUV光刻机物镜组，切入28nm以下制程检测环节，与中科飞测形成技术协同。
中微公司	面向全球的高端半导体微观加工设备公司，涵盖65纳米到5纳米及更先进的技术节点。