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专利摘要显示,提供用于产生样本的图像的方法及系统。一种系统包含定位于由光源产生的光束中的轴向衍射光学元件(DOE)。所述光束偏移到所述轴向DOE的中心。所述轴向DOE包含经配置以将所述光束分离成多个光束的同心光栅环。另外,所述系统包含经配置以将所述多个光束分别聚焦到样本上的多个光点的聚焦光学器件。所述多个光点的共同焦平面相对于所述聚焦光学器件的光轴成倾斜角度。所述系统还包含经配置以通过检测来自所述多个光点的光来产生所述样本的图像的成像检测器。
本文源自金融界
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