正金石半导体取得用于cds光刻刻蚀的化学液浓度监控设备专利减少人工取样及送样过程中化学液渗漏

抖音热门 2025年08月04日 08:33 0 aa

金融界2025年8月2日消息，国家知识产权局信息显示，浙江正金石半导体设备有限公司取得一项名为“用于cds光刻刻蚀的化学液浓度监控设备”的专利，授权公告号CN223181089U，申请日期为2024年09月。

专利摘要显示，本实用新型公开了用于cds光刻刻蚀的化学液浓度监控设备，包括循环管道、泵、控制器和化学容器，化学容器和泵均设置在循环管道上，化学容器上连接有补气管，循环管道上连接有进液管和出液管，出液管上设置有出液阀，循环管道上设置有浓度传感器，浓度传感器与控制器电连接，浓度传感器包括传感器主体和多通管件，多通管件内设有供液体通过的液体通道，多通管件包括第一接头和第二接头，第一接头连接循环管道，出液管连接在第二接头上，传感器主体连接于多通管件上对液体通道内流过的液体进行浓度检测并传输信号到控制器，控制器连接显示屏，在线检测的浓度传感器可以减少人工在设备的取样以及送样过程中化学液渗漏的问题。

天眼查资料显示，浙江正金石半导体设备有限公司，成立于2024年，位于金华市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析，浙江正金石半导体设备有限公司财产线索方面有商标信息5条，专利信息4条。

本文源自金融界