突破西方封锁！中国自研DUV光刻机测试成功，5nm制程不再是梦？

今日快讯 2025年09月25日 20:03 0 aa

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根据英国《金融时报》最新报道，中芯国际正在测试由上海初创企业宇量升研发的国产DUV光刻机，这款设备能够通过多重曝光技术制造5纳米芯片。这意味着美国试图通过技术封锁"卡死"中国高端芯片制造的计划，正在加速破产。

当初ASML CEO预言"美国出口限制将推动中国成功研发自己的技术"，如今竟然一语成谶，这一突破比业界预期的2030年时间节点至少提前了五年。

西方封锁反而催生中国技术突破

过去几年，美国联合荷兰政府限制ASML向中国出口最先进的EUV极紫外光刻机，试图将中国芯片制造能力锁死在7纳米节点。按照他们的如意算盘，没有EUV设备，中国就永远造不出5纳米以下的高端芯片，也就无法在人工智能、高性能计算等关键领域与西方抗衡。

然而，中芯国际这次测试的DUV设备虽然采用193纳米波长的深紫外光，理论上无法直接制造5纳米芯片，但通过多重曝光等先进工艺技术，硬是把物理极限给突破了。

这家名为宇量升的上海公司成立仅仅三年，就能开发出可实用的DUV光刻机。ASML可是花了几十年才达到今天的技术水平，而中国企业用三年时间就走完了别人的大半路程。这背后反映的不仅是中国在精密制造和光学技术方面的快速进步，更是举国体制下集中力量办大事的制度优势。

当然，多重曝光技术也有其代价。由于需要多次曝光来实现精细图案，对准误差会层层叠加，导致芯片良品率相对较低，制造成本也会显著增加。但对于中芯国际来说，能造出来比造不出来重要得多，良品率和成本问题可以在后续生产中逐步优化解决。

过去十年，中国在芯片设计、制造、封测、材料等各个环节都在加速布局，如今设备环节也开始实现突破，整个产业生态正在形成闭环。

从市场需求来看，中国人工智能产业的爆发式发展，为国产芯片提供了巨大的内需市场。根据ASML的预测，受全球人工智能需求激增推动，全球半导体市场规模预计将达到1万亿美元。在这个庞大的市场中，中国既是最大的消费国，每年芯片进口金额超过石油，也正在成为重要的生产国。

各大AI公司都在疯狂采购算力芯片，这种旺盛的需求不仅为国产芯片提供了试错和迭代的机会，也为整个产业链的发展提供了充足的资金支持。中芯国际目前已经能够使用早期浸没式DUV技术实现7纳米制程生产，这为进一步扩展到5纳米奠定了坚实基础。

更重要的是，国产DUV光刻机的成功为上游材料供应商提供了新的发展机遇。光刻胶、掩膜版、硅片等关键材料企业可以围绕国产设备进行适配优化，形成"设备-材料-工艺"的良性循环。这种本土化的协同创新模式，是ASML这样的跨国公司难以复制的优势。

中国DUV光刻机的成功测试，标志着全球半导体产业正在从"一超多强"向"两强并立"转变。过去几十年，ASML凭借EUV技术的垄断地位，在全球光刻设备市场占据绝对主导地位。但现在，中国正在用自己的方式证明，技术垄断并非不可打破。

ASML的设备本身就是全球化协作的产物，其光源来自美国Cymer公司，光学系统由德国蔡司提供，控制系统涉及多个国家的技术，最终在荷兰完成整机装配。而中国的DUV光刻机如果能够实现完全自主生产，反而在供应链安全性方面具有更大优势。

美国经济学家预测，芯片战的结果可能是全球会形成两条平行的供应链。一条由西方主导，核心是ASML、台积电和英伟达；另一条由中国主导，关键企业包括国产设备、中芯国际和华为海思。

对于美国来说，这种变化无疑是最不愿意看到的。他们原本希望通过技术封锁拖慢中国发展速度，为自己争取更多时间来巩固技术优势。但现在看来，封锁不仅没有达到预期效果，反而刺激了中国加速自主创新的决心。

美国商务部去年已经注意到中国在自主DUV研发方面的进展，并多次向荷兰和日本施压，要求全面限制相关技术出口，但显然为时已晚。

更让美国担心的是，中国在攻克DUV技术之后，下一个目标必然是EUV光刻机。按照华为的发展规划，2028年第四季度推出的昇腾970芯片需要达到英伟达H200的性能水平，而H200采用的是4纳米制程，必须使用EUV光刻机制造。这意味着中国最晚在2028年第二季度就需要具备EUV光刻机的量产能力。

这次DUV光刻机的突破，不仅是技术层面的胜利，更是发展理念的转变。当EUV这条路被堵死时，中国没有死磕到底，而是另辟蹊径，通过DUV多重曝光技术实现了"弯道超车"。

值得注意的是，中国这次不仅在设备上突破，在整个芯片生态上也开始形成闭环。从设计环节的华为海思、寒武纪，到制造环节的中芯国际，再到封测环节的长电科技，越来越多的环节开始实现"国产替代"。这种整合能力，是其他国家难以复制的"中国式优势"。

按照目前的发展节奏，中国有望在2028年前后实现EUV光刻机的技术突破。届时，中国将在芯片制造的所有关键环节都拥有自主可控的技术能力，真正实现从"芯片大国"向"芯片强国"的跨越。到那时，谁还能继续通过技术封锁来限制中国的发展？

封锁从来阻挡不了技术进步的脚步，只会让强者变得更强。正如伟人所说："封锁吧，封锁个十年八年，中国的一切问题都解决了。"中国芯片产业正在用实际行动证明这句话的深刻内涵，而这场技术突围战的最终胜利，已经越来越近了。#发优质内容享分成#

信息来源：

观察者网-金融时报：中芯国际正测试浸没式技术的28纳米国产深紫外光刻机（DUV）

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