出货78台！中企公布EUV光刻机专利，难怪ASML着急出货了？

抖音热门 2025年11月14日 20:22 1 admin

半导体这行当现在是全球最火的战场之一，尤其是光刻机这玩意儿，简直就是芯片制造的核心命脉。荷兰的ASML公司一直稳坐头把交椅，他们的设备能帮芯片厂把线路刻得细如发丝，支撑着从手机到AI的所有高科技产品。

可最近几年，因为各种出口管制，中国企业买不到最先进的EUV光刻机，只能靠本土研发来追赶。这不，2022年ASML就往中国运了78台深紫外线光刻机，这事儿一出，很多人觉得他们这是急着抢市场份额，生怕中国自己搞出EUV技术来抢饭碗。同时，中国企业也没闲着，上海微电子装备公司之类的中企接连公布EUV相关专利，让ASML那边坐不住了。

2022年上半年，ASML从荷兰的维尔德霍芬工厂打包运出这些机器，主要型号是NXT:1980系列的深紫外线设备，每台售价好几千万美元。这些东西不是EUV级别，而是DUV，能支持10纳米到14纳米工艺的芯片生产。中国买家主要是中芯国际、长江存储这样的企业，他们用这些设备来扩产逻辑芯片和存储芯片。那年头，美方出口管制还没那么严，ASML抓紧窗口期加速交付，总共78台，比前一年的93台少了点，但比2020年的57台还是多。运输过程挺麻烦的，得用空运和海运结合，设备到中国后，还得在无尘车间安装调试，花上好几周时间调光源功率和镜头对焦。中芯国际在北京和上海的厂房就靠这些机器把晶圆产量从每月几千片提到上万片，长江存储在武汉也一样，提升了NAND闪存的产能。这批货帮中国半导体产业稳住了阵脚，避免了完全断供的尴尬。

为什么ASML这么积极出货呢？因为他们清楚，中国市场占他们销售额的20%左右，年营收超200亿欧元，这块蛋糕丢不起。2022年第一季度他们就发了23台，第二季度接着补齐到78台。背后是美方从2019年起就禁了EUV出口到中国，ASML没法卖最顶尖的机器，只能靠DUV维持关系。要不然，中国企业一气之下转投日本的尼康或佳能，虽然那些家底子薄点，但总比没得用强。ASML还附带了维护服务，承诺设备寿命延到15年，软件升级帮客户提产量。这招挺实惠的，等于锁定了长期合作。可话说回来，这也暴露了ASML的焦虑，中国本土研发势头猛，他们担心订单被抢。

转到中国这边，中企的EUV专利公布确实让局面热闹起来。拿上海微电子装备公司来说，他们是本土光刻机的领头羊，2023年3月提交了EUV辐射生成器和光刻设备的专利，焦点是极紫外线辐射源和设备集成。这专利不是空谈，基于多重曝光技术，能绕开部分进口限制，支持7纳米级别的生产。专利号类似CN系列，授权后公开，显示中国在光源和真空腔体上有了进展。反射镜组用钼硅多层镀膜，总层40多，反射率瞄准70%以上，解决真空环境下光路畸变。团队借了清华大学和中科院的成果，砸了几亿元建测试平台，光源功率控制在250瓦，跟国际参数差不多，但走的是独立路线。2024年9月，他们又公布了7纳米光刻专利，利用多重曝光来模拟EUV效果，避免污染物干扰曝光过程。这步步推进，让人看到中国半导体从依赖进口到自给自足的潜力。

其实，中国EUV研发的根子在2019年美方禁令上。那时候起，ASML就没法卖EUV机到中国，中国企业只好加大投入。传闻中一些小公司如传芯半导体也申请了20多项专利，覆盖光源管理和双工件台定位，但主流还是上海微电子和华为这样的玩家。华为2023年底获批自对准四重图案化专利，用DUV实现5纳米工艺，在深圳测试多次曝光优化电路图案。这些专利不是一夜之间冒出来的，得益于国家投资，2025年中国宣布砸370亿欧元开发本土EUV系统，目标2026年量产。上海微电子传闻已完成首台原型测试，计划2025年第三季度试生产。纳米压印工具作为备选路径，2025年8月已出货首台，帮辅助芯片制造。中国企业测试本土设备，逐步整合供应链，从光刻胶到光学镜头，全链条本土化。

ASML对这些专利的反应呢？他们高层在财报会上提过，密切监控亚洲技术动态。首席执行官彼得·温宁克2022年就说过，要关注竞争变化。2024年，ASML首席执行官克里斯托夫·富凯还表示，中国造EUV机得花很多年，落后10到15年。但这话说出口，也透着点防备心理。毕竟，中国2023年从荷兰进口光刻机猛增到176台，ASML营收增长15%，但中国市场占比降到15%，因为管制持续。他们招聘1500名工程师扩产能，却碰上供应链压力。2025年第三季度，ASML报告总收入75亿欧元，中国份额进一步下滑，警告销售会受影响。全球EUV机出货超200台，主要给三星和台积电，中国靠专利积累缩小差距。

整体看，这事儿有内涵。半导体不是孤立的产业，牵动全球经济。中国从买不到EUV起步，逼着自己创新，专利公布就是里程碑。ASML出货78台，看似生意经，其实是防患未然。后续呢，中国2026年量产目标若实现，ASML垄断就松动了。但现实点，中国还需时间整合全链，ASML短期内稳住领先。接地气地说，这就像打持久战，谁先撑不住谁输。中国投资大，人才多，工程师们加班加点搞研发，成果一个接一个。ASML那边，压力山大，招聘扩产的同时，还得应付政客的管制。产业格局在变，中国份额虽降，但本土能力升了，全球芯片供应更均衡点。