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2025-10-09 0
近日,中国(上海)国际传感器技术与应用展览会在上海跨国采购会展中心举行。展会上,嘉定企业盛密科技(上海)有限公司携新产品半导体行业制程气体监测传感器4SM系列精彩亮相。
据了解,半导体工业制程中需使用多种易燃易爆、腐蚀性、毒性、窒息性气体作为基础原料,如发生高浓度气体泄漏,对人员及厂房设备危害严重。因此,监控半导体工业制程中微量气体泄露至关重要。而气体传感器就如同无形的哨兵,时刻监测着空气中的潜在威胁。
盛密科技专为半导体行业制程监测气体泄漏推出的4SM系列传感器,不仅具有高分辨率,能捕捉到微小的气体泄漏。同时,4SM系列传感器具备卓越的抗化学干扰性,能有效抵御半导体产线中特定的复杂化学物质干扰,确保读数准确可靠;针对负压工作导致的密封失效、气体扩散异常及电解质蒸发等问题,具备强大的抗负压干扰能力。
4SM系列传感器为国内自主研发生产,实现了传感器核心零部件的国产化替代,其独有的电解液体系及新型的电极结构,具备稳定性高、寿命长,耐高温、高湿、低湿、抗酒精干扰能力强等优良特性,让传感器更耐用。
除此以外,4SM系列传感器在气体识别覆盖范围上同样展现出强大优势,尤其擅长于稀缺及定制化检测方案。为适应复杂的半导体制程环境,该系列还可提供抗乙醇干扰的定制版本。
据悉,盛密科技是一家气体和辐射检测传感器企业,于2014年落户上海大学国家大学科技园嘉定基地,主要立足于工业及民用环境安全检测领域。成立十年以来,盛密科技已拿到多项专利,并荣获高新技术企业、“专精特新”企业、“科技小巨人”培育企业等称号,
产品应用于亚马逊雨林气候监测站、北极科考船舱室、5G芯片生产线等。
通讯员: 张孟蝶
编辑:倪丹丹
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