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2025-09-25 0
半导体产业是科技竞争的核心战场,而半导体设备则是芯片制造的 “武器库”—— 没有先进设备,就造不出高端芯片。在 “国产替代” 大背景下,一批半导体设备公司正从 “卡脖子” 困境中突围,成为资本市场焦点。今天,我们全面梳理半导体设备产业链核心玩家,看看谁在引领国产替代浪潮。
晶圆制造是芯片生产的前端核心,涵盖光刻、刻蚀、薄膜沉积等数十道工序,每一步都需专用设备,技术壁垒极高。
1. 光刻设备:“皇冠上的明珠”,国产曙光初现
光刻决定芯片制程精度,全球市场被 ASML 垄断,但国内公司正全力追赶:
上海微电子(未上市):国产光刻机 “希望之光”,已量产 90nm 光刻机,28nm 设备有望近年突破,成为张江高科等 A 股公司的核心炒作逻辑。
芯碁微装:主打 “直写光刻”,PCB 光刻领域稳居龙头,同时向半导体光刻延伸,“PCB + 半导体” 双赛道驱动估值。
福晶科技:为光刻设备提供核心光学晶体元件,是产业链上游 “隐形冠军”,受益于光刻设备国产化的元件需求增长。
炬光科技:聚焦光学系统,为光刻设备提供光源模组等关键部件,“光学组件 + 半导体” 跨界属性受资金关注。
茂莱光学:深耕精密光学,产品覆盖高端光刻镜头、光学元件,是国内少数能供应高端光刻光学部件的公司。
张江高科:通过投资上海微电子,成为 “光刻机概念” 直接受益者,兼具 “半导体投资 + 科创园区运营” 双重属性。
2. 刻蚀设备:国产替代最成熟领域之一
刻蚀是 “雕刻” 晶圆的核心工序,国内公司进展显著:
中微公司:全球刻蚀设备龙头之一,5nm 刻蚀机获台积电等国际大厂认可,是国产刻蚀 “旗帜”,业绩与技术双驱动。
北方华创:半导体设备 “平台型巨头”,覆盖刻蚀、薄膜沉积、热处理等多环节,是国内最全面的半导体设备厂商,国产替代核心标的。
屹唐股份:专注干法刻蚀,在逻辑、存储芯片制造环节持续突破,背靠产业资本,技术积淀深厚。
3. 薄膜沉积设备:构建芯片 “物质基础”
薄膜沉积是在晶圆表面沉积绝缘、导电薄膜的过程,核心设备包括 CVD、PVD 等:
拓荆科技:国产 PECVD(等离子体化学气相沉积)龙头,已进入中芯国际、长江存储等一线晶圆厂,是国产替代 “先锋军”。
北方华创:在 CVD、PVD 设备领域布局深厚,依托平台化优势,提供 “一站式” 沉积解决方案。
微导纳米:聚焦原子层沉积(ALD)设备,技术难度更高,是国内稀缺的 ALD 设备供应商,受益于先进制程对 ALD 的需求增长。
4. 离子注入设备:给芯片 “掺杂” 的关键
离子注入是向晶圆注入杂质调整电学性能的工序,长期被海外垄断:
万业企业:通过收购凯世通,成为国产离子注入机龙头,12 英寸离子注入机已量产,“并购 + 技术突破” 是核心看点。
北方华创:离子注入设备布局完善,与自身刻蚀、沉积设备形成协同,提升客户粘性。
5. 抛光(CMP)设备:让晶圆 “更平坦”
CMP 是使晶圆表面平坦化的关键工序,设备与材料缺一不可:
华海清科:国产 CMP 设备龙头,12 英寸大硅片抛光设备已突破,同时布局封装 CMP 设备,“双领域” 拓展。
安集科技:CMP 抛光液龙头,同时布局 CMP 设备,实现 “材料 + 设备” 协同,是国产替代 “一体化” 代表。
金太阳:从抛光材料延伸至 CMP 设备,打造产业链闭环,受益于下游晶圆厂扩产的 “设备 + 材料” 双重需求。
鼎龙股份:CMP 抛光垫核心供应商,同时布局 CMP 设备,与抛光材料形成协同,国产替代逻辑清晰。
6. 清洗设备:“高频刚需”,每片晶圆要洗上百次
清洗是晶圆制造中最频繁的工序(每片晶圆需清洗上百次),设备需求巨大:
盛美上海:国产清洗设备龙头,单片清洗、槽式清洗设备技术领先,已获台积电、中芯国际等大厂认证。
国林科技:为清洗设备提供核心部件(臭氧发生器),是产业链上游 “隐形供应商”,受益于清洗设备放量。
至纯科技:从高纯工艺系统延伸至清洗设备,提供 “系统级 + 设备级” 整体解决方案,绑定大客户资源。
封装测试是芯片制造的后端环节,决定芯片性能、功耗与可靠性,相关设备是国产替代重点。
1. 封装设备:让芯片 “变小、变强”
封装是将晶圆切割、封装为最终产品的过程,涉及固晶、焊接、分选等设备:
光力科技:从煤矿检测跨界半导体封装检测设备,技术迭代迅速,是 “跨界转型” 代表,国产替代空间大。
快克智能:主打焊接、点胶等封装设备,消费电子领域稳居龙头,同时向半导体封装设备延伸,“消费电子 + 半导体” 双轮驱动。
奥特维:光伏串焊机龙头,凭借精密制造能力跨界半导体封装设备,“光伏 + 半导体” 技术复用逻辑清晰。
迈为股份:光伏异质结设备龙头,高研发投入跨界半导体封装设备,资金与技术储备充足,想象空间大。
华海清科:除 CMP 设备外,也布局封装环节设备,平台化拓展逻辑明确。
芯源微:固晶机等封装设备龙头,LED 封装领域市占率高,正加速向半导体封装设备渗透。
新益昌:LED 封装设备全球龙头,技术优势明显,逐步切入半导体芯片封装领域,“从 LED 到半导体” 的国产替代延伸。
京仪装备:背靠北京仪器仪表集团,封装相关设备技术积淀深厚,国资背景 + 技术底蕴是核心看点。
2. 测试设备:为芯片 “体检”
测试是检测芯片性能、筛选次品的关键环节,包括测试机、探针台等设备:
长川科技:国产测试机龙头,SoC 测试机等高端产品持续突破,客户覆盖中芯国际、华虹半导体等,业绩高增长验证实力。
精智达:从显示测试跨界半导体测试,“显示 + 半导体” 双赛道逻辑清晰,多领域布局分散风险。
矽电股份:探针台核心供应商,国产稀缺标的,探针台是芯片测试核心设备,国产替代需求迫切。
华峰测控:模拟测试机龙头,国内市占率超 40%,是国产测试设备 “稳定器”,业绩常年稳健增长。
金海通:专注封装测试环节的分选设备,绑定国内大型封测厂,受益于封测产能扩张。
除前道、后道核心设备,量测、硅片制造等设备也是产业链不可或缺的部分。
1. 量测检测设备:芯片 “良率管家”
量测检测设备用于监控晶圆制造良率,技术壁垒极高:
中科飞测:国产光学量测设备龙头,7nm 制程量测设备已通过客户验证,是国内少数能进入先进制程的量测厂商。
精测电子:显示测试全球龙头,凭借显示领域技术积累跨界半导体量测,“显示 + 半导体” 协同效应显著。
中微公司:除刻蚀外,也布局量测设备,技术延伸逻辑清晰,进一步完善半导体设备布局。
2. 硅片制造设备:芯片的 “地基” 供应商
硅片是芯片基础材料,硅片制造设备决定硅片产能与品质:
沪硅产业:国产大硅片龙头,同时布局硅片制造设备,打造 “硅片 + 设备” 产业链闭环,增强核心竞争力。
立昂微:从硅片制造延伸至功率器件,硅片设备既自用又对外供应,“垂直整合” 逻辑突出。
晶升股份:专注单晶炉等硅片制造核心设备,大硅片单晶炉技术突破,受益于大硅片产能扩张。
晶盛机电:光伏单晶炉全球龙头,凭借光伏技术积淀跨界半导体硅片设备,技术同源性强,拓展顺利。
半导体设备备受关注,核心逻辑有三:
供需缺口大:国内晶圆厂(中芯国际、长江存储等)加速扩产,但半导体设备自给率不足 20%,国产替代空间超千亿。
政策与资本支持:国家大基金持续投资,政策明确支持 “卡脖子” 技术突破,资本助力企业研发与扩张。
技术突破加速:从光刻到刻蚀,从沉积到测试,国内公司在多环节实现 “0 到 1” 突破,部分领域进入 “1 到 100” 放量阶段,业绩逐步兑现。
半导体设备是芯片产业 “卡脖子” 最严重的环节,却也是国产替代最具确定性、进展最快的领域。上述公司中,有的是 “技术龙头”(如中微公司、北方华创),有的是 “跨界新秀”(如迈为股份、快克智能),有的是 “材料 + 设备” 协同玩家(如安集科技、鼎龙股份)。
对于投资者,可重点关注两类公司:一是技术壁垒高、已实现国产替代突破的龙头(业绩确定性强);二是处于新兴环节、具备技术稀缺性的潜力股(想象空间大)。在全球半导体周期复苏与国产替代双重驱动下,半导体设备领域有望诞生更多 “十年十倍” 机会。
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